潔凈室中的溫濕度控制:
潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,無塵凈化車間,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,廠房凈化車間,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,凈化車間,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。
濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產蕞佳溫度范圍為35—45%。










無塵潔凈棚的優勢:
A.施工速度快,安裝方便
B.成本較低,維護方便
C.容易控制,FFU每臺自帶風機;
潔凈室的清潔程度直接關系到產品車間的質量問題,所以在做潔凈室、無塵車間、凈化車間的清潔時一家要多考慮多個方面。制藥企業需要嚴密加員管理,嚴格控制人的量物流,合理布局空間與面積等以保證制藥潔凈室的潔凈度。


無塵潔凈棚與無塵車間的成本比較:
總體說,大部分客戶會將潔凈棚建在無塵室之內,但有的客戶不想單獨建無塵車間,在無塵潔凈棚不考慮空調系統及風淋室、傳遞窗等凈化設備的情況下,無塵潔凈棚的成本約是無塵車間造價的40%~60%,凈化車間施工,這取決于客戶對無塵潔凈棚材料的選擇,以及潔凈棚的大小。需要潔凈的區域越大,無塵潔凈棚與無塵車間的成本相比差別會越小。



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